課程預覽
課程代碼
06D003
課程目標
可在最短時間內瞭解電漿蝕刻原理及製程設計技術。
課程特色
★進修充電新潮流、全方位自我課程安排。
★自行選擇上課時 段,不再有缺課、補 課、跟不上進度的煩惱。
★彈性自主調配學習進度,上班、出 差、休閒也不影響 進 度。
★達到隨時隨地有效的學習,更可迅速提昇專業能力。
修課條件
大專理工相關科系,具基礎物理、化學、材料知識者。有意投入半 導體工作人士。欲 了解 微影製程技術課程有興趣的社會大眾。
課程大綱
1 Introduction to Plasma
1.1 What is Plasma ?
1.2 Plasma Generation
1.3 DC & RF - Electric Field and e- Source
1.4 DC Discharges
1.5 RF Discharges
2 Electrode and Chamber Design
2.1 PE Mode ( Plasma Etching)
2.2
課程師資
自強基金會 張宏隆講師
課程費用
600 元

  • VIP企業會員價:VIP企業會員可享優惠價格 (按我)
  • 上課時數
    2 小時
    上課時間
    即日起~2017/12/31,帳號開通後1個月內無限次瀏覽
    上課地點
    網路線上
    主辦單位
    財團法人自強工業科學基金會
    客服專線
    03-5623116#3216 何小姐 cyho@tcfst.org.tw
    備    註
    1. 本課程無提供講義。 2. 本課程無測驗試題。
    ※數位課程限用IE瀏覽。