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【課程名稱】 3D多閘極電晶體技術與可靠度
【課程代碼】 06S391
【上課時間】 2017/12/2,09:00-16:00,周六。 
【課程目標】 1.使學員瞭解MOSFET元件的特性與量測,元件縮小的趨勢,以及3D多閘極電晶體的現況與發展。
2.授課內容包含:
●電晶體元件的特性與量測
●短通道效應
●元件縮小的趨勢
●多閘極電晶體的特性與技術
●FinFET 元件的可靠度(TDDB, NBTI and HCI)現況
【課程特色】 本課程將說明二維(2D)單閘極電晶體元件的特性與WAT元件參數的量測, 以及MOSFET元件縮小的趨勢[將 從 strained Si, high-k metal gate的發展至各種多閘極電晶體的介紹 (如ultra-thin body SOI, double gate, FinFET,trigate FET, Pi-gate FET, Omega-gate FET, and gate-all- aroundFET)]。
也將介紹目前14/16nm FinFET的特性與技術,以及FinFET元件的可靠度 現況。此課程可以使學員紮實瞭 解傳統MOSFET的元件特性與最先進 的三維(3D)多閘極電晶體元件的現況與未來發展。
【修課條件】 大專以上理工科系畢業,適合執行製程、元件、產品、可靠度等工程的相關 從業人 員選修,以及對半導體元件有興趣或對元件設計有興趣者。
【課程大綱】 1.MOSFET fundamentals: I-V characteristics, subthreshold swing, body effect, hot carrier effect, snapback, punch through, etc.
2.Short channel effects: DIBL, Vt roll off, velocity saturation, etc
3.Device scaling trend: from strain-Si, high-k/metal gate, to FinFET-like devices
4.Multi-gate FETs: double gate, FinFET, trigate FET, Pi- gate FET, Omega-gate FET, and gate-all-around FET
5.FinFET device reliability: GOI, NBTI & HCI
【課程師資】 邱福千博士
-現任:電子工程學系教授。
-專長:矽基元件與製程技術、記憶體技術、元件可靠度工程
-經歷:
*華邦電子─DRAM製程整合工程、技術暨元件開發部、SRAM產品工程 部、邏輯 元件部(含ESD保護)、電子 元件可靠度工程部
*民生科技─類比IC設計
-high-k, RRAM相關研究數十篇
-國內外專利:15件
-IEEE、中國工程師學會、台灣靜電放電防護工程學會等會員。財團法 人中華 民國證卷櫃檯買賣中心產學 專家暨創新創意審查委員。台灣靜電放電防護技術暨可靠度技術研討會議 程委 員。
-國際期刊首席客座編輯委員:Advances in Materials Science and Engineering、The Scientific World Journal。
-國際期刊的審稿委員:IEEE Electron Device Letters、IEEE Transactions on Electron Devices、Applied Physics Letters、Journal of Applied Physics、Journal of the Electrochemical Society、Electrochemical and Solid State Letters、 Microelectronics Reliability、Microelectronic Engineering、 Journal of Materials Science、Vacuum、Materials Chemistry and Physics、 Nanoscale Research Letters…等。
【上課時數】 6 小時
【上課地點】 新竹市光復路二段101號創新育成大樓
【主辦單位】 財團法人自強工業科學基金會
【課程費用】 5000元 (超值優惠價格需送出報名表後,系統發出報名成功回函確認金額。)
【超值優惠】
  • VIP企業會員價:VIP企業會員可享優惠價格 (按我)
  • 會員優惠價: 會員於開課前七天完成報名繳費者可享會員優惠價 4500 元
  • 早安鳥方案:會員於開課二週前(含)報名並完成繳費,可享超值優惠價 4250 元
  • 會員紅利折抵:本課程歡迎使用紅利折抵,最高可使用 200 點
【諮詢專線】 03-5623116#3223 沈先生 cshen@tcfst.org.tw
【學員須知】 報名與繳退費方法常見問題與解決會員紅利積點活動辦法
【注意事項】
  1. 若遇不可預測之突發因素,基金會保有相關課程調整、取消及講師之變動權。
  2. 無紙化環境,輕鬆達到減碳救地球,即日起16小時以上課程結業證書改以電子方式提供。
  3. 使用VIP廠商優惠之學員,上課當日報到時須查核該公司識別證(相關證明資料)。
  4. 會員紅利折抵限以原價或會員優惠價再折抵,其他方案不適用。
  5. 課前請詳閱簡章之課程內容或利用課程諮詢電話。
  6. 課程嚴禁旁聽,亦不可攜眷參與。