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瞭解半導體製程材料技術、Cu/Low-k製程技術之挑戰。

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大專理工相關科系或具半導體製程經驗者。有意了解半導體製程材 料、Cu/Low-k製程 技術 之挑戰發展者。

1.微電子工業與材料
2.多層金屬內連線
3.銅金屬化製程技 術
4.低介 電常數薄 膜製程技術
5.多層銅內連線之挑戰

中興大學 張守一 教授

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財團法人自強工業科學基金會

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