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★進修充電新潮流、全方位自我課程安排。
★自行選擇上課時 段，不再有缺課、補 課、跟不上進度的煩惱。
★彈性自主調配學習進度，上班、出 差、休閒也不影響 進 度。
★達到隨時隨地有效的學習，更可迅速提昇專業能力。

1.有志投入或已投入光電、半導體產業之企業人士、專業技術人 員。
2.對此課程 有興 趣的社會大眾與學術界人士。

本課程主要介紹物理氣相蒸鍍的兩大技術：蒸鍍及濺鍍。介紹內容 將涵蓋鍍膜基本原 理： 鍍膜原子的產生、原子空中輸送行為等，以及其他製程相關的重要 知識，例如純元素鍍 膜、合金鍍膜，膜厚均勻度定量處理方法及膜厚均勻度影響因素， 階梯覆蓋問題，薄膜 純 度，鍍膜硬體裝置，濺鍍機制，濺鍍產生率的影響因素，合金濺 鍍、多相濺鍍，直流濺 鍍，射頻濺鍍，磁控濺鍍，及反應性濺鍍等製程技術。

清華大學材料系　周麗新教授

600 元

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財團法人自強工業科學基金會

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