自強課程

課程名稱

「半導體微影製程光學」光刻機的子系統熱烈招生中

<若有需求可以來電洽詢小班制包班>

「半導體微影製程光學」光刻機的子系統課程介紹：「台積電」啟動史上最大規模徵才
台積電今年接單非常好，需才孔急。台積電證實，徵才8千名確是有史以來最大規模。台積電表示，三奈米廠目前已經在興建當中，預計2022年開始量產，更先進的二奈米預計將落腳新竹寶山園區。
半導體微影製程是半導體產業的核心技術，其基本組成為：曝光光源、照明系統、光罩、投影鏡頭系統、晶圓載台等子系統。本課程採用台積電技術副總林本堅院士所著的書籍Optical Lithography: Here is Why, 第5章 Components of Optical Lithography為藍本，介紹光學微影製程的各子系統。希望對想進「台積電」工作的年輕工程師、學生能有所幫助。

課程代碼：

10A017

上課時間：

2021/9/25(六)、10/02(六)、10/09(六)，9:00~16:00，共18小時

上課時數：

18 小時

上課地點：

台北教育中心(台北市中正區博愛路80號3樓)

課程費用：

15000元 (符合超值優惠價格者需送出報名表後，系統發出報名成功回函確認金額。)

超值優惠：

VIP企業會員價：VIP企業會員可享優惠價格 (按我)
會員優惠價： 會員於開課前七天完成報名繳費者可享會員優惠價 14800 元
會員紅利折抵：本課程歡迎使用紅利折抵，最高可使用 300 點

課程目標：

參考文獻：台積電技術副總林本堅院士所著之光刻術教科書
Optical Lithography : Here is Why第五章

課程大綱：

第一天
1. Light Source光源
2. Illuminator照明
3. Mask光罩
第二天
4. Imaging Lens成像鏡頭
5. Lens Maintenance鏡頭維護
6. Photoresists 光阻
第三天
7. Antireflection Coating抗反射鍍膜
8. Wafer晶圓
9. Wafer Stage晶圓載台
10. Alignment System對準系統

課程師資：

授課講師：林世穆光學博士台北科技大學光電系副教授
瑞光科技顧問有限公司顧問

學員須知：

報名與繳退費方法｜常見問題與解決｜會員紅利積點活動辦法

注意事項

清華大學學生優惠方案：清華大學學生可享課程最低優惠價─VIP企業會員優惠價，完成報名後須來電告知修改費用(使用本優惠價須於報名同時檢附清華大學學生證)。

若遇不可預測之突發因素，基金會保有相關課程調整、取消及講師之變動權。

無紙化環境，輕鬆達到減碳救地球，即日起16小時以上課程結業證書或未達16小時課程上課證明皆以電子方式提供。

使用VIP廠商優惠之學員，上課當日報到時須查核該公司識別證(相關證明資料)。

會員紅利折抵限以原價或會員優惠價再折抵，其他方案不適用。

課前請詳閱簡章之課程內容或利用課程諮詢電話。

課程嚴禁旁聽，亦不可攜眷參與。