自強課程

課程名稱

光刻機的成像品質評價-波動光學在光刻機的應用熱烈招生中

課程代碼：

10A035

上課時間：

2021/8/18(三)、8/25(三)，9:00~16:00，共12小時

上課時數：

12 小時

上課地點：

台北教育中心(台北市中正區博愛路80號3樓)

課程費用：

10000元 (符合超值優惠價格者需送出報名表後，系統發出報名成功回函確認金額。)

超值優惠：

VIP企業會員價：VIP企業會員可享優惠價格 (按我)
會員優惠價： 會員於開課前七天完成報名繳費者可享會員優惠價 9800 元
會員紅利折抵：本課程歡迎使用紅利折抵，最高可使用 300 點

課程目標：

光刻機的成像要求非常高，就是繞射極限，能評價成像品質的只有波面像差的分析工具。本課程參考Zeiss的光學總監 Herbert Gross所主編的Handbook of Optical Systems, Vol. 3, chapter 30為藍本，介紹波動光學在光刻機的應用。希望台灣半導體光刻機的工程師們能更了解微影製程的核心技術。

課程特色：

參考資料： Handbook of Optical Systems, Vol. 3, chapter 30

課程大綱：

1. Wave Aberrations波面像差

2. Strehl Ratio中心亮點強度比

3. Criteria for PSF and Intensity Distributions點擴展函數
的光強度分布

4. Point Resolution / Line Resolution點物體的解像力/線物體
的解像線寬

5. Depth of Focus焦深

6. MTF criteria and Resolution調制轉換函數的判斷式與解像
能力

7. Distortion畸變

8. Color Aberrations and DOF色差及焦點偏離

9. Statistical Aberrations統計上的像差意義

10. Polarization Effect偏振光在光刻機的效應

學員須知：

報名與繳退費方法｜常見問題與解決｜會員紅利積點活動辦法

注意事項

清華大學學生優惠方案：清華大學學生可享課程最低優惠價─VIP企業會員優惠價，完成報名後須來電告知修改費用(使用本優惠價須於報名同時檢附清華大學學生證)。

若遇不可預測之突發因素，基金會保有相關課程調整、取消及講師之變動權。

無紙化環境，輕鬆達到減碳救地球，即日起16小時以上課程結業證書或未達16小時課程上課證明皆以電子方式提供。

使用VIP廠商優惠之學員，上課當日報到時須查核該公司識別證(相關證明資料)。

會員紅利折抵限以原價或會員優惠價再折抵，其他方案不適用。

課前請詳閱簡章之課程內容或利用課程諮詢電話。

課程嚴禁旁聽，亦不可攜眷參與。

優惠方案擇一使用。

課程查詢或相關作業時程，請洽以下聯絡窗口。

聯絡資訊

02-23113316分機2287 林小姐 HCLin@tcfst.org.tw

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