自強課程

課程名稱
光刻機的成像品質評價-波動光學在光刻機的應用
 課程代碼:
10A035
 上課時間:
2021/5/19(三)、5/26(三),9:00~16:00,共12小時 
 上課時數:
12 小時
 課程費用:
10000元 (符合超值優惠價格者需送出報名表後,系統發出報名成功回函確認金額。)
 超值優惠:
  • VIP企業會員價:VIP企業會員可享優惠價格 (按我)
  • 會員優惠價: 會員於開課前七天完成報名繳費者可享會員優惠價 9800 元
  • 會員紅利折抵:本課程歡迎使用紅利折抵,最高可使用 300 點
 課程目標:
光刻機的成像要求非常高,就是繞射極限,能評價成像品質的只有波面像差的分析工具。本課程參考Zeiss的光學總監 Herbert Gross所主編的Handbook of Optical Systems, Vol. 3, chapter 30為藍本,介紹波動光學在光刻機的應用。希望台灣半導體光刻機的工程師們能更了解微影製程的核心技術。
 課程特色:
參考資料: Handbook of Optical Systems, Vol. 3, chapter 30
 課程大綱:
1. Wave Aberrations波面像差

2. Strehl Ratio中心亮點強度比

3. Criteria for PSF and Intensity Distributions點擴展函數
的光強度分布

4. Point Resolution / Line Resolution點物體的解像力/線物體
的解像線寬

5. Depth of Focus焦深

6. MTF criteria and Resolution調制轉換函數的判斷式 與 解像
能力

7. Distortion畸變

8. Color Aberrations and DOF色差及焦點偏離

9. Statistical Aberrations統計上的像差意義

10. Polarization Effect偏振光在光刻機的效應
  注意事項
  • 疫外轉彎充電轉型:響應政府紓困政策,觀光產業從業人員可享課程最低優惠價─VIP企業會員優惠價,完成報名後須來電告知修改費用(使用本優惠價須於報名同時檢附相關證明資料(名片/識別證/公司在職證明..等))。
  • 清華大學學生優惠方案:清華大學學生可享課程最低優惠價─VIP企業會員優惠價,完成報名後須來電告知修改費用(使用本優惠價須於報名同時檢附清華大學學生證)。
  • 若遇不可預測之突發因素,基金會保有相關課程調整、取消及講師之變動權。
  • 無紙化環境,輕鬆達到減碳救地球,即日起16小時以上課程結業證書改以電子方式提供。
  • 使用VIP廠商優惠之學員,上課當日報到時須查核該公司識別證(相關證明資料)。
  • 會員紅利折抵限以原價或會員優惠價再折抵,其他方案不適用。
  • 課前請詳閱簡章之課程內容或利用課程諮詢電話。
  • 課程嚴禁旁聽,亦不可攜眷參與。
  • 課程查詢或相關作業時程,請洽以下聯絡窗口。
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