自強課程

課程名稱
半導體微影的照明光學(Illumination for Micro-Lithography) 熱烈招生中
 課程代碼:
12A089
 上課時間:
2024/01/26(五),9:00~16:00,共6小時 
 上課時數:
6 小時
 課程費用:
5000元 (符合超值優惠價格者需送出報名表後,系統發出報名成功回函確認金額。)
 超值優惠:
  • 自強基金會50周年慶優惠價: 4500 元(★繳費完成才算報名成功喔★)
  • ※主辦單位保有最終修改、變更、活動解釋及取消本活動之權利,若有相關異動將會公告於網站,恕不另行通知。
     課程大綱:
    1. 光刻機的光路path

    2. 光刻機曝光exposure

    3. 光束均齊度uniformity

    4. 光束的對準alignment

    5. 遠心度telecentricity

    6. 投影機的光學照明特性

    7. 雷射光的部分同調性

    8. 離軸光照明的好處
     課程師資:
    林世穆老師
      主辦單位:
    財團法人自強工業科學基金會
      注意事項
  • 清華大學學生優惠方案:清華大學學生可享課程最低優惠價─VIP企業會員優惠價,完成報名後須來電告知修改費用(使用本優惠價須於報名同時檢附清華大學學生證)。
  • 若遇不可預測之突發因素,基金會保有相關課程調整、取消及講師之變動權。
  • 無紙化環境,輕鬆達到減碳救地球,即日起16小時以上課程結業證書或未達16小時課程上課證明皆以電子方式提供。
  • 使用VIP廠商優惠之學員,上課當日報到時須查核該公司識別證(相關證明資料)。
  • 會員紅利折抵限以原價或會員優惠價再折抵,其他方案不適用。
  • 課前請詳閱簡章之課程內容或利用課程諮詢電話。
  • 課程嚴禁旁聽,亦不可攜眷參與。
  • 優惠方案擇一使用。
  • 課程查詢或相關作業時程,請洽以下聯絡窗口。
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