自強課程

課程名稱

1:1 光刻機投影鏡頭設計熱烈招生中

可小班包班授課

課程代碼：

13A073

上課時間：

2024/10/25(五)、11/01(五)，9:00~16:00，共12小時

上課時數：

12 小時

上課地點：

台北教育中心(台北市中正區博愛路80號3樓)

課程費用：

10000元 (符合超值優惠價格者需送出報名表後，系統發出報名成功回函確認金額。)

超值優惠：

VIP企業會員價：VIP企業會員可享優惠價格 (按我)
會員優惠價： 會員於開課前七天完成報名繳費者可享會員優惠價 9800 元
會員紅利折抵：本課程歡迎使用紅利折抵，最高可使用 200 點

課程目標：

1:1 lithographic projection lens design
從原理開始、從歷史上的第一款開始，從專利的案例開始、到4吋、6吋、8吋晶圓、、、12吋？

課程大綱：

1. 歷史上第一款1:1 投影系統：Dyson
2. 影響力最大的第二款1:1投影系統：Offner
3. Wynn-Dyson
4. Wynn-Offner
5. 遠心鏡頭的特徵
6. 遠心鏡頭的遠心度
7. 1:1 dioptric 鏡頭的光學特性
8. 中國1:1投影曝光鏡頭專利解析
CN102279457 A解析
CN105259740 A解析
9. 從f-theta lens 開始「1:1 遠心曝光鏡頭」的光學設計

課程師資：

北科大光電林世穆教授

主辦單位:

財團法人自強工業科學基金會

學員須知：

報名與繳退費方法｜常見問題與解決｜會員紅利積點活動辦法

注意事項

清華大學學生優惠方案：清華大學學生可享課程最低優惠價─VIP企業會員優惠價，完成報名後須來電告知修改費用(使用本優惠價須於報名同時檢附在學中有效的清華大學學生證，且不得開立抬頭「國立清華大學」以外的三聯式公司發票)。

若遇不可預測之突發因素，基金會保有相關課程調整、取消及講師之變動權。

無紙化環境，輕鬆達到減碳救地球，即日起16小時以上課程結業證書或未達16小時課程上課證明皆以電子方式提供。

使用VIP廠商優惠之學員，上課當日報到時須查核該公司識別證(相關證明資料)。

會員紅利折抵限以原價或會員優惠價再折抵，其他方案不適用。