自強課程
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課程名稱
1:1 光刻機投影鏡頭設計
熱烈招生中
可小班包班授課
課程代碼:
13A073
上課時間:
2024/9/27(五)、10/04(五),9:00~16:00,共12小時
上課時數:
12 小時
上課地點:
課程費用:
10000元
(符合超值優惠價格者需送出報名表後,系統發出報名成功回函確認金額。)
超值優惠:
- VIP企業會員價:VIP企業會員可享優惠價格 (按我)
- 會員優惠價: 會員於開課前七天完成報名繳費者可享會員優惠價 9800 元
- 會員紅利折抵:本課程歡迎使用紅利折抵,最高可使用 200 點
課程目標:
1:1 lithographic projection lens design
從原理開始、從歷史上的第一款開始,從專利的案例開始、到4吋、6吋、8吋晶圓、、、12吋?
從原理開始、從歷史上的第一款開始,從專利的案例開始、到4吋、6吋、8吋晶圓、、、12吋?
課程大綱:
1. 歷史上第一款1:1 投影系統 :Dyson
2. 影響力最大的第二款1:1投影系統:Offner
3. Wynn-Dyson
4. Wynn-Offner
5. 遠心鏡頭的特徵
6. 遠心鏡頭的遠心度
7. 1:1 dioptric 鏡頭的光學特性
8. 中國1:1投影曝光鏡頭專利解析
CN102279457 A解析
CN105259740 A解析
9. 從f-theta lens 開始「1:1 遠心曝光鏡頭」的光學設計
2. 影響力最大的第二款1:1投影系統:Offner
3. Wynn-Dyson
4. Wynn-Offner
5. 遠心鏡頭的特徵
6. 遠心鏡頭的遠心度
7. 1:1 dioptric 鏡頭的光學特性
8. 中國1:1投影曝光鏡頭專利解析
CN102279457 A解析
CN105259740 A解析
9. 從f-theta lens 開始「1:1 遠心曝光鏡頭」的光學設計
課程師資:
北科大光電林世穆教授
主辦單位:
財團法人自強工業科學基金會
學員須知:
注意事項