自強課程

課程名稱

微影投影光學熱烈招生中

(含High NA的EUV介紹)

課程代碼：

15A076

上課時間：

2026/10/30(五)、11/06(五)，9:00~16:00，共12小時

上課時數：

12 小時

上課地點：

台北教育中心(台北市中正區博愛路80號3樓)

課程費用：

10000元 (符合超值優惠價格者需送出報名表後，系統發出報名成功回函確認金額。)

超值優惠：

VIP企業會員價：VIP企業會員可享優惠價格 (按我)
會員優惠價： 會員於開課前七天完成報名繳費者可享會員優惠價 9900 元
會員紅利折抵：本課程歡迎使用紅利折抵，最高可使用 100 點
(金銀級會員已是最優惠價，無法再使用紅利折抵。)

課程大綱：

1. 等倍率零焦度同心系統（Unit-magnification zero-power monocentric systems）
1.1 戴森 1× 中繼系統（Dyson 1× relay）
1.2 奧夫納 1× 中繼系統（Offner 1× relay）
2. 溫-戴森 1× 中繼系統（Wynne-Dyson 1× relay）
3. 溫-奧夫納 1× 中繼系統（Wynne-Offner 1× relay）
4. 縮小鏡頭（Reduction lenses）
5. 折反射縮小系統（Catadioptric reduction systems）
6. 全反射縮小系統（Catoptric reduction systems）
8. 折反射式的微影曝光系統
9 EUV 極短波長紫外光的反射式微影曝光系統
10. 高數值孔徑 High NA的EUV 極短波長紫外光的反射式微影曝光系統介紹

課程師資：

自強基金會林世穆老師

主辦單位:

財團法人自強工業科學基金會

學員須知：

報名與繳退費方法｜常見問題與解決｜會員紅利積點活動辦法

注意事項

清華大學學生優惠方案：清華大學學生可享課程最低優惠價─VIP企業會員優惠價，完成報名後須來電告知修改費用(使用本優惠價須於報名同時檢附在學中有效的清華大學學生證，且不得開立抬頭「國立清華大學」以外的三聯式公司發票)。

若遇不可預測之突發因素，基金會保有相關課程調整、取消及講師之變動權。

無紙化環境，輕鬆達到減碳救地球，即日起16小時以上課程結業證書或未達16小時課程上課證明皆以電子方式提供。

使用VIP廠商優惠之學員，上課當日報到時須查核該公司識別證(相關證明資料)。

會員紅利折抵限以原價或會員優惠價再折抵，其他方案不適用。