自強課程

課程名稱

先進半導體材料分析原理與趨勢-電子顯微鏡篇(線上) 熱烈招生中

全線上

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課程代碼：

15S336

上課時間：

115/10/17，週六，09:00-16:00，共6小時

上課時數：

6 小時

上課地點：

網路線上

課程費用：

4500元 (符合超值優惠價格者需送出報名表後，系統發出報名成功回函確認金額。)

超值優惠：

VIP企業會員價：VIP企業會員可享優惠價格 (按我)
會員優惠價： 會員於開課前七天完成報名繳費者可享會員優惠價 4200 元
早安鳥方案：會員於開課二週前(含)報名並完成繳費，可享超值優惠價 4000 元
會員紅利折抵：本課程歡迎使用紅利折抵，最高可使用 50 點

課程目標：

電子顯微鏡技術自20世紀初發展以來，已從奈米尺度影像工具進化為原子尺度結構解析與功能材料分析的核心平台。隨著先進半導體製程、異質整合封裝、二維材料與量子材料的發展，電子顯微鏡不僅提供結構觀察，更成為應變分析、缺陷工程、電子繞射分析與4D STEM定量映射的關鍵技術。本課程將從電子光學基本原理出發，系統性介紹TEM/STEM成像與繞射機制、像差校正技術、負球差成像（NCSI）、應變分析方法與樣品損傷機制，並結合最新4D-STEM發展趨勢與產業應用案例，建立學員完整的理論基礎與實務判讀能力。

完成本課程後，學員將能：
1.理解電子顯微鏡發展歷史與技術演進脈絡
2.掌握TEM與STEM成像與電子光學基本原理
3.說明電子與樣品交互作用機制（彈性與非彈性散射）
4.判讀電子繞射圖案與應用於晶體結構分析
5.理解4D-STEM之原理與定量映射方法
6.掌握電子顯微鏡應變分析方法
7.認識樣品損傷機制與低劑量策略
8.說明球差校正器原理與負球差成像機制
9.分析不同電子顯微鏡廠商之技術發展路徑
10.具備將電子顯微鏡技術導入半導體與先進材料研發的能力

課程大綱：

1.電子顯微鏡發展歷史
2.TEM與STEM構造與原理
3.球差校正器原理與發展歷史
4.電子繞射(圖案)原理與應用
5.電子顯微鏡之應變分析
6.負球差成像術介紹
7.4D STEM介紹
8.實務應用與案例
9.各家電子顯微鏡發展歷程與未來發展趨勢

課程師資：

講師：自強基金會專業講師
專長：半導體儀器與計量技術開發、先進電子顯微鏡技術理論與實務、高階材料分析技術理論與實務、材料導論、材料分析、碳基奈米材料、高分子奈米複合材料與半導體元件材料。
現任：工業技術研究院量測中心組長、台灣顯微鏡學會理事長

相關課程：

15S337 先進材料分析原理與趨勢-電子顯微鏡配件篇

學員須知：

報名與繳退費方法｜常見問題與解決｜會員紅利積點活動辦法

注意事項

清華大學學生優惠方案：清華大學學生可享課程最低優惠價─VIP企業會員優惠價，完成報名後須來電告知修改費用(使用本優惠價須於報名同時檢附在學中有效的清華大學學生證，且不得開立抬頭「國立清華大學」以外的三聯式公司發票)。

若遇不可預測之突發因素，基金會保有相關課程調整、取消及講師之變動權。

無紙化環境，輕鬆達到減碳救地球，即日起16小時以上課程結業證書或未達16小時課程上課證明皆以電子方式提供。