自強課程

課程名稱

光刻機之投影鏡頭光學設計如期開班

課程代碼：

09A082

上課時間：

2020/11/24(二)、12/01(二)，9:00~16:00，共12小時

上課時數：

12 小時

上課地點：

台北教育中心(台北市中正區博愛路80號3樓)

課程費用：

10000元 (符合超值優惠價格者需送出報名表後，系統發出報名成功回函確認金額。)

超值優惠：

VIP企業會員價：VIP企業會員可享優惠價格 (按我)
會員優惠價： 會員於開課前七天完成報名繳費者可享會員優惠價 9800 元
會員紅利折抵：本課程歡迎使用紅利折抵，最高可使用 300 點

課程目標：

「台積電」啟動史上最大規模徵才
台積電今年接單非常好，需才孔急。台積電證實，徵才8千名確是有史以來最大規模。台積電表示，三奈米廠目前已經在興建當中，預計2022年開始量產，更先進的二奈米預計將落腳新竹寶山園區。
半導體微影製程是半導體產業的核心技術，其基本組成為：曝光光源、照明系統、光照、投影鏡頭系統、晶圓載台等子系統。本課程採用英國「帝國理工學院」資深講師Kidger : Intermediate Lens Design為藍本，介紹光學微影製程中最重要的投影物鏡子系統。希望對想進「台積電」工作的年輕工程師、學生能有所幫助。

課程特色：

參考文獻：
1. Kidger : Intermediate Lens Design
2. 李林、黃ㄧ帆、王涌天：現代光學設計方法，第二版
3. Gross 主編：Handbook of Optical Systems, Volume 4

課程大綱：

1. 光刻機技術發展歷程
2. 早期1:1光刻機物鏡態樣
3. 為什麼使用Reduction Projection?
4. 縮小4倍投影鏡頭的構成
5. 全「球面」Dioptric折射光刻機物鏡性能指標
6. 使用「非球面」光刻機物鏡性能解析
7. Catadioptric折反射式光刻機物鏡性能解析

課程師資：

授課講師：林世穆光學博士台北科技大學光電系副教授
瑞光科技顧問有限公司顧問

學員須知：

報名與繳退費方法｜常見問題與解決｜會員紅利積點活動辦法

注意事項

清華大學學生優惠方案：清華大學學生可享課程最低優惠價─VIP企業會員優惠價，完成報名後須來電告知修改費用(使用本優惠價須於報名同時檢附清華大學學生證)。

若遇不可預測之突發因素，基金會保有相關課程調整、取消及講師之變動權。

無紙化環境，輕鬆達到減碳救地球，即日起16小時以上課程結業證書或未達16小時課程上課證明皆以電子方式提供。

使用VIP廠商優惠之學員，上課當日報到時須查核該公司識別證(相關證明資料)。

會員紅利折抵限以原價或會員優惠價再折抵，其他方案不適用。

課前請詳閱簡章之課程內容或利用課程諮詢電話。

課程嚴禁旁聽，亦不可攜眷參與。